如果拆迁行为违法，可通过以下途径处理。首先，被拆迁人可以向有关部门申请行政复议，要求对拆迁行为进行审查和纠正。复议机关会对拆迁的合法性进行全面审查，如发现违法，会责令相关部门改正或撤销违法的拆迁决定。其次，被拆迁人也可以直接向人民法院提起行政诉讼，请求法院判决拆迁行为违法并要求相应的赔偿。在诉讼过程中，被拆迁人需要提供充分的证据证明拆迁行为存在违法之处，如未取得合法的拆迁许可证等。最后，在拆迁过程中，被拆迁人还可以通过协商等方式与拆迁方进行沟通，要求其纠正违法行为，如达成和解协议，可避免进入行政复议或诉讼程序。总之，被拆迁人应积极采取措施维护自己的合法权益。
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文章来源参考：头条-拆迁违规补偿，拆迁违法怎么处理流程内容审核：张海昊律师
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