非法侵占征地补偿款属于违法行为，可依据不同情况进行处罚。
1. 若侵占数额较小，未达到刑事立案标准的，可由县级以上政府土地行政主管部门责令退还非法侵占的征地补偿款，并处以非法侵占款项二倍以下的罚款。
2. 若侵占数额较大或有其他严重情节，达到刑事立案标准的，构成侵占罪。处二年以下有期徒刑、拘役或者罚金；数额巨大或者有其他严重情节的，处二年以上五年以下有期徒刑，并处罚金。
此外，相关责任人还可能面临行政处分等其他责任。在实践中，具体的处罚措施会根据案件的具体情况和法律规定来确定。
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文章来源参考：头条-非法侵占土地罪 81条，非法侵占土地赔偿金额内容审核：于艳律师
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