厂房拆迁设备被埋的赔偿主体需依据具体情况确定。
若拆迁行为是由政府主导的合法拆迁，在拆迁过程中，政府部门应按照法定程序对厂房及设备等进行妥善处理。若因政府部门或其委托的拆迁实施单位未履行合理注意义务，导致设备被埋，那么政府部门或相关实施单位应承担赔偿责任。被拆迁人可通过行政复议、行政诉讼等途径，要求其进行赔偿。
如果是厂房的出租方在未通知承租方的情况下，擅自进行拆除作业致使设备被埋，出租方构成侵权，需对承租方的设备损失承担赔偿责任。承租方可以通过民事诉讼，要求出租方赔偿相应损失。
要是拆迁工程承包给了第三方施工单位，施工单位在作业过程中操作不当导致设备被埋，施工单位作为直接侵权人，应承担赔偿责任。厂房所有人或设备所有人可以与施工单位协商赔偿事宜，协商不成的，可向法院提起民事诉讼来维护自身权益。
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文章来源参考：头条-政府拆工厂机器设备的补偿，厂房拆迁设备赔偿内容审核：王一帆律师
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