如果征地补偿分配方案不合法，可采取以下措施。首先，应及时收集和保留相关证据，如该方案的文本、实施过程中的相关文件等，以证明其不合法之处。其次，可与相关责任方，如征地部门、村委会等进行沟通协商，要求其纠正不合法的行为，重新制定合法的补偿分配方案。若协商无果，可向乡镇人民政府或县级以上人民政府申请行政裁决，要求对征地补偿分配方案的合法性进行审查和裁决。最后，如果对行政裁决结果仍不满意，还可以依法向人民法院提起行政诉讼，通过司法途径维护自身的合法权益。在整个过程中，要注意保留好证据和相关文件，遵循法定程序，以确保自身权益得到有效保障。
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文章来源参考：头条-征地补偿款分配有争议怎么办，征地补偿费分配方案不合理怎么办内容审核：孔维松律师
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